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193纳米固态光源功率真相

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春枫必吉0　

2025年4月，中科院广州空天研究所发布了一项研究成果：成功研制出一款新型固态DUV 193纳米光源。
此后数月间，该成果被部分网络信息误传为某工厂193纳米光刻用固态光源已量产，甚至衍生出颠覆阿斯麦等不实说法。
事实上，当前固态193纳米光源面临的核心瓶颈仍是输出功率严重不足。据该研究所论文明确披露：其实验获得的193纳米处平均功率仅为70毫瓦，仅适用于准分子激光器的种子光源。
作为参照，长春光机所早在2015年4月即报道过同类研究，其实现的最大平均功率为35毫瓦。
而目前主流先进型193纳米准分子激光器的输出功率已达90瓦与120瓦量级——相当于上述固态光源功率的上千倍。
因此，固态DUV光刻光源实现弯道超车阿斯麦紧急应对台积电陷入恐慌等说法，均缺乏基本数据支撑，纯属误读与夸大。
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水晶汐　

没有固态193nm光源，只有固态泵浦的准分子或者谐波勉强凑数，功率？别问，问就是001W都算爆种
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屑路啥　

真相就是——压根没有商用的193nm固态激光器，实验室里都还在折腾，功率？先有光再说吧
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开朗2　

193nm现在全靠准分子激光器（比如ArF），固态？梦里功率挺高，醒来还在画饼～
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艾修筠1　

别信那些千瓦级193nm光源的鬼话，连稳定输出几毫瓦都费劲，还谈功率
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曜武用凯　

啥？193nm固态光源？这玩意儿目前根本还没量产，别被标题党忽悠了
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李天宝　

光刻机所需功率至少为70瓦，而非70毫瓦。
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