ASML EUV光刻机全球分布-ZOL问答

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美国商务部长霍华德·卢特尼克近期与荷兰阿斯麦（ASML）公司高管举行会面，提出警示称，已有证据显示该公司一台极紫外光刻机（EUV）可能已流入中国。对此，ASML明确回应：公司从未向中国出口任何EUV光刻系统或其核心部件，并强调已对其全球范围内全部314台EUV设备实施严格追踪。
截至今年2月的统计数据，ASML累计交付EUV光刻机309台。其中，台积电获得157台，三星76台，英特尔35台，SK海力士29台，美光5台，日本Rapidus公司1台。从分布看，台积电一家占比过半；东亚地区（中国台湾+韩国）与美国合计占据绝大部分份额，呈现高度集中态势。
作为全球唯一具备EUV光刻机量产能力的供应商，ASML的出货量自2017年起持续增长：2019年约22至26台，2020年为31台，2021年升至42台，2022年达54台，2023年以53台创历史最高纪录；2024年略有回落，预计出货45至50台；2025年确认出货48台，其中包括首台High-NA型号；2026年公司设定的指导目标为超过60台。
尽管中国目前无法进口EUV设备，但中国大陆仍是ASML极为关键的市场，主要贡献来自深紫外光刻机（DUV）。2024年，该地区为其带来36.1%的营收；在2026年第一季度系统出货量中，中国大陆占比达19%。在现实商业利益面前，各方始终处于动态权衡与调整之中。