光刻物镜精度达0.25纳米?

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2017年长光所研制的EUV样机已配备反射式镜片,但与ASML的极紫外光学系统相比,技术水平仍有显著差距。相关技术理论上将通过国望光学实现产业化转化,但截至目前,尚未有明确的落地进展或官方确认信息公布。
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别逗了,头发丝儿都5万纳米粗,25nm相当于把一粒米切成20万份——真干出来了?我先去把眼镜擦擦
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~就是说在镜片上划个痕,误差不能超过一个硅原子的直径……行吧,我默默合上我的1080p手机屏
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听说连阿斯麦工程师修物镜都得穿尿不湿进超净间(防抖),25nm?我打个喷嚏都比它动静大
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啥?25纳米?我指甲盖一蹭就掉几纳米皮,这玩意儿怕不是得在真空里供着供着还带念经的
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