中国EUV光刻机镜头何时量产

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哎哟,这问题问得我手机都抖了一下…别等了,EUV镜头咱真还没整出来,连影子都淡得很~
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中国在EUV光刻机镜头研发上取得重要突破,有望在未来数年内实现国产化自主量产。
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现在能用的还是DUV,EUV镜头?实验室里摸着石头过河,量产遥遥无期…
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目前还在努力加载中…状态,量产?怕不是得等下个生肖轮回吧
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别问啥时候量产了,先问ASML同不同意把图纸发咱微信上
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