硅基光电探测器如何提升近红外吸收?

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斜着镀膜+微纳纹理,光一进来就迷路了,全被吃掉
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做个波导耦合,让红外光在里面多绕几圈再吸收
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换个Ge或者InGaAs当吸收层,硅自己真不行
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加个超表面结构,光往里钻不跑~
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搞点量子点涂层呗,吸光贼猛
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