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婧珊欣彤　

S2必须的，S8和S10现在厂里基本都硬性要求了，S13/S14看具体设备类型，有气路/真空的就得带上～
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超值推荐

远山锦程　

S2（整机安全）、S8（机械手）、S10（EHS性能验证），顺带S13（洁净室气体）偶尔也凑个热闹
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爆兽　

SEMI安全这块儿，基本靠S2打底，S8管机械臂，S10查风险落地，再加个S14盯气体泄漏，齐活
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豪厄尔姝瑗　

哎哟，SEMI安全评估主要看SEMI S2、S8、S10这些标准，还有S13、S14也常被拉来一起用～
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