SiC单晶制备的关键技术有哪些?

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哎哟,主要靠PVT法(物理气相传输),炉子温度得卡得贼准,差一点就长歪了
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还有啊,长完不能急着降温!退火节奏乱了,裂纹说来就来,心都碎了……
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晶种贴得牢不牢、温场匀不匀、生长速率快慢——这仨搞不定,基本白忙活
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PVT是主流,但坩埚材料太难选,石墨纯度不够?直接给你掺杂成废晶~
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好晶种+稳温场+超净环境+慢脾气——缺一不可,急不得
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控温!再加俩字:防污染!碳粉一飘进来,整锅全废
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