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RYQYOU

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光刻机需要用金刚石。金刚石是比较坚硬的石头种类不易损坏。刻机介绍：光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
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xiaohuohai2012

目前所有商用光刻机——包括DUV浸没式和EUV——光学系统0%使用钻石材料！原因很实在：钻石虽然硬，但紫外到极紫外波段吸收太强，折射率不均、热膨胀系数也不匹配，做不了高精度透镜或反射基底。工程师宁可花几亿欧元打磨一块石英玻璃，也不会拿钻石凑数。网上说钻石镜头的基本都是把金刚石散热片张冠李戴了，咱得擦亮眼睛啊～
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lichaoqwe

哎哟，这问题问得有点可爱啦～光刻机里根本不用天然钻石啊！你可能被网上那些钻石刀金刚石部件的说法带偏了！实际EUV光刻机里最关键的光学元件是超低膨胀熔融石英镜片，反射镜镀的是多层钼硅薄膜，连普通钻石都进不去真空腔室好吗～倒是某些精密导轨或轴承会用到人造金刚石涂层来减摩，但那跟光刻核心八竿子打不着，纯属工业辅料级别，别信什么靠钻石雕刻芯片的玄学说法哈～
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ajckfxbeto

光刻物镜材料首选超低膨胀熔融石英或ULE玻璃，禁用高吸收率材料如金刚石。为啥？因为15nmEUV光子能量太高，钻石内部电子会被直接激发，导致严重吸收和发热形变，镜面一秒钟就失准！真正用到碳元素的地方反而是镜面镀膜里的碳缓冲层，或者某些静电卡盘的金刚石掺杂涂层——但那属于固定晶圆的托盘，跟雕刻光线的光学系统毫无关系，别搞混啦！
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w88552191

兄弟你这问题让我笑出声…光刻机不是切水果的刀，真不用钻石！ASML那台EUV机器里最烧钱的是德国蔡司做的反射镜，材料是微晶玻璃+纳米级钼硅交替镀膜，对平整度要求达到原子级（几皮米！），钻石莫氏硬度再高也达不到这种光学均匀性，还容易引入应力畸变。倒是某些激光器里的窗口片会用合成单晶金刚石散热，但那是辅助冷却部件，和成像曝光完全无关，千万别把散热片当镜头啊！
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