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SiC MOSFET工艺包含哪些关键光刻步骤？

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怕挨揍的坚果墙　

涂胶→对准曝光→显影→硬掩膜刻蚀→去胶，中间还老得反复调参数，烦死了…
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超值推荐

你赖东东不错麻　

光刻步骤跟硅差不多，但SiC太耐操了，得上深紫外或者电子束，掩膜版也得加厚
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X氏家族　

光刻定义图形、干法刻蚀（ICP那种）、再光刻套刻，套不准直接报废
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佩珍文赋　

光刻胶涂布、曝光、显影、刻蚀，SiC硬啊，刻蚀那步最折腾
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