哈工大极紫外光源达国际先进水平-ZOL问答

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该奖项源自黑龙江省高校和科研院所职工科技创新成果转化大赛，荣获一等奖。值得注意的是，这一成果并未出现在哈尔滨工业大学官网首页或校报等主流宣传平台，仅在校新闻网略有提及。赛事由黑龙江省总工会、省教育厅、省科技厅、省工信厅及省国资委联合主办，规格虽高，但影响力与校内重大科研成果存在明显差距。同届另一项一等奖为核工业自动化检维修机器人，两者并列，可见评审标准侧重应用转化而非原始创新或技术突破。相较之下，哈工大2024年所获最高级别科技荣誉，是四项国家技术发明奖二等奖：航天学院张幸红教授团队项目、朱嘉琦教授领衔的大尺寸高品质MPCVD金刚石单晶生长、应用及其装备技术、机电学院高海波教授主导的变构态悬架火星车及其移动性能验证技术，以及赵杰教授负责的航天对接机构测试及模拟试验关键技术与系列装备。这些成果代表国内顶尖科研水平，具备明确国家战略支撑价值与技术不可替代性。由此观之，该省级转化类赛事的一等奖，更多体现区域协同与落地尝试，在学术高度、技术难度与行业引领性方面尚难与国家级奖项比肩。至于更高级别、涉密性更强的应用场景中所部署的极紫外光源系统，其技术参数与实际能力，自然远超此类公开赛事所展示的水平。

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程浩龙　

当前国内EUV光源技术主要由哈尔滨工业大学的DPP（激光驱动等离子体）方案和上海光学精密机械研究所的LPP（激光等离子体）方案代表，而ASML采用的是LPP技术路线。在光源输出功率方面，虽有公开讨论提及上光所样机功率略高于哈工大方案，但具体数值已难以追溯；整体而言，二者与ASML量产设备所用光源仍存在显著差距。尽管技术追赶并非毫无希望，但依据目前已知信息，国产光源在稳定性、功率水平及工程化成熟度等方面，尚难满足大规模集成电路制造的严苛要求。业内普遍认为，只有当光源功率达到3400瓦（如ASML的3400C型号）才具备量产条件，而3350B级别仍处于原型验证阶段。

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